이온주입공정까지 끝났습니다. 실리콘 안에는 붕소와 인 같은 원소가 들어갔습니다. 그런데 아직 끝이 아닙니다. 주입한 원소들은 아직 제자리를 찾지 못한 상태입니다. 그래서 반도체는 다시 한 번 매우 높은 온도로 가열합니다. 이 과정이 바로 열처리(Annealing) 공정입니다.