JBA-010 스트립·세정공정이란? 반도체는 왜 공정마다 계속 씻을까


CMP공정까지 끝났다면 이제 반도체는 거의 완성된 걸까요?

사실 아직 끝이 아닙니다.

웨이퍼 위에는 포토레지스트, 슬러리, 금속 오염물, 미세입자가 그대로 남아 있습니다.

이 상태에서 다음 공정을 진행하면 불량률은 급격히 올라갑니다.

그래서 반도체는 공정이 끝날 때마다 벗기고 씻는 과정을 반복합니다.

오늘은 스트립공정과 세정공정이 왜 수율을 결정하는 핵심 공정인지 알아보겠습니다.

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진스브리프 주간 수급 브리핑 #002 | 국민연금 리밸런싱

국민연금 리밸런싱, 이번 주 코스피 급락의 진짜 원인일까


이번 주 코스피는 롤러코스터 그 자체였습니다.

지난주 반도체 업황 우려로 시작된 하락은 이번 주 초 절정에 달했습니다. 화요일 코스피는 장중 10% 가까이 급락하며 사이드카가 두 차례나 발동됐고, 지수는 9000선에서 8200선까지 밀려났습니다.

이 급락의 배경에는 국민연금이 있었습니다.

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JBA 반도체 시리즈 전체 보기

진스브리프(JBA)는 반도체 공정을 처음부터 끝까지 이해할 수 있도록 구성된 시리즈입니다. 웨이퍼에서 시작해 노광, 식각, 증착, 이온주입, 열처리, CMP까지 이어지며실제 반도체가 만들어지는 전체 흐름을 단계별로 설명합니다. 새 글은 순서대로 추가되며 본 페이지에서 모두 확인할 수 있습니다. 기초 JBA-001 반도체란 무엇인가 반도체란 무엇인가? AI 시대를 움직이는 가장 작은 기술 JBA-002 웨이퍼란 무엇인가 https://jinsbrief.com/429/ 전공정 JBA-003 반도체 전공정이란 […]

JBA-009 CMP공정이란? 반도체는 왜 거울처럼 평평해야 할까


식각과 증착, 이온주입까지 반복되면서 반도체는 여러 층으로 쌓여갑니다.

그런데 문제는 하나 생깁니다.

표면이 점점 울퉁불퉁해진다는 겁니다.

이 상태로는 다음 공정을 진행할 수 없습니다.

그래서 반도체는 다시 연마됩니다.

이 과정이 바로 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 공정입니다.

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JBA-008 열처리공정이란? 왜 반도체는 다시 뜨겁게 구워야 할까


이온주입공정까지 끝났습니다.

실리콘 안에는 붕소와 인 같은 원소가 들어갔습니다.

그런데 아직 끝이 아닙니다.

주입한 원소들은 아직 제자리를 찾지 못한 상태입니다.

그래서 반도체는 다시 한 번 매우 높은 온도로 가열합니다.

이 과정이 바로 열처리(Annealing) 공정입니다.

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JBA-007 이온주입공정이란? 반도체는 어떻게 전기가 흐르게 될까



순수한 실리콘은 원래 전기가 거의 흐르지 않는 물질입니다.

그런데 우리가 쓰는 CPU와 HBM은 전기를 자유자재로 다루며 계산하고 저장합니다.

똑같은 실리콘인데, 대체 언제부터 전기가 흐르는 물질로 바뀌는 걸까요.

그 답이 바로 이온주입공정에 있습니다.

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JBA-006 증착공정이란? 반도체는 어떻게 원자 단위로 쌓아 올려질까

식각공정까지 끝나면 필요 없는 부분은 모두 깎여 나간 상태입니다.

이제 남은 건 빈 구조입니다.

여기에 다시 물질을 쌓아 올려야 비로소 반도체가 완성됩니다.

이 과정이 바로 증착공정입니다.

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JBA-005 식각공정이란? 노광으로 그린 회로는 어떻게 깎여서 만들어질까


노광공정까지 끝나면 회로는 그려져 있는 상태입니다.

하지만 이 상태는 아직 반도체가 아닙니다.

그림일 뿐입니다.

이제 진짜 중요한 단계가 시작됩니다. 필요 없는 부분을 깎아내는 과정, 식각공정입니다.

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JBA-004 노광공정이란? ASML이 세계 반도체 시장을 지배하는 이유



웨이퍼가 준비됐습니다.

그런데 아직 그 위에는 아무것도 없습니다.

이제 웨이퍼 위에 회로를 그리는 작업이 시작됩니다.

반도체 공정에서 가장 유명한 단계, 바로 노광공정입니다.

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JBA-003 반도체 전공정이란? 수백 개 공정의 시작, 웨이퍼 위에 회로를 그리는 과정



웨이퍼가 준비됐다고 해서 반도체가 완성되는 것은 아닙니다.

이제부터는 이 매끄러운 원판 위에 사람 머리카락보다 수천 배 얇은 회로를 하나씩 만들어 가야 합니다.

이 과정을 통틀어 전공정(Front-End Process)이라고 부릅니다.

반도체 기술력의 대부분은 바로 이 전공정에서 결정됩니다.

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